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全自动四探针电阻测量测试仪

全自动四探针电阻测量测试仪

简要描述:全自动四探针电阻测量测试仪晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.

产品型号: BX-Y1227

所属分类:·电阻系列

更新时间:2024-04-30

详细说明:

关键词:

精密测量仪器电阻   电阻自动测试仪   自动电阻测试仪   电阻测试仪   测试仪电阻   四探针电阻测试仪

Y1227.png

产品用途:全自动四探针电阻测量测试仪

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏.

仪器特点:全自动四探针电阻测量测试仪

四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.报表输出数据统计分析.

技术参数:

规格型号

BX-Y1227

1.电阻

10^-5~2×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5~2×10^5Ω/□

3.电阻率

10^-6~2×10^6Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,10mA,100mA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

≤0.3%

7.PC软件操作

PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱压力、报表生成

8.压力范围:

探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调

9.探

针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%

圆头镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制

10.可测晶片尺寸选购

晶圆尺寸:2-12寸6寸150mm,12寸300mm);

方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.重复性

测量重复性:重复性≤3

13.防护功能

具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W

15.选购项目

电脑和打印机



 



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