挥发性有机化合物光离子化在线监测仪采样单元：由采样探头、采样管、废气预处理装置和采样泵组成。将废气进行粉尘过滤及水分干燥后输送到气体空气阀；
气体控制器：由流量计、气路切换电磁阀等部件组成；
分析单元：由光离子化检测器、数据处理等组成；
控制单元：由数据处理和储存、数据显示与查询、状态显示与查询、通讯等硬件与软件控制系统组成；
其他辅助设备：包括仪器设备所需要的机柜、平台和安装固定装置等。

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